凈工作臺的結構及如何空氣凈化說(shuō)明

空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾的生產(chǎn)環(huán)境被航空航天工業(yè)使用。即使一個(gè)其微小的缺陷都可造成衛星工作失誤，因此，NASA（美國航空航天中心）和其服務(wù)商們建造了帶有過(guò)濾天花板夾層和過(guò)濾墻體的車(chē)間。而且創(chuàng )了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。

半導體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個(gè)主要的問(wèn)題是當從小加工車(chē)間擴建為有更多工人工作的大型車(chē)間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法演化為凈工作臺法。這個(gè)主要是把過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺上，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)。在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。

在大型車(chē)間中按順序排列的工作臺（叫做工作層流罩）組成加工區，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過(guò)濾器是一種顆粒搜集過(guò)濾器（HEPA過(guò)濾器）。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過(guò)濾層，使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量為每分鐘90到100英寸。HEPA過(guò)濾器可達到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法中。

一般來(lái)說(shuō)，HEPA過(guò)濾器裝于凈工作臺頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA過(guò)濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺表面改變方向，流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱(chēng)為空氣層流立式式（VLF）工作臺，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過(guò)濾器裝于工作臺后部，這種方式被稱(chēng)為空氣層流平行（HLF）式工作臺。