無(wú)塵車(chē)間控制溫濕度的必要性
 

　　無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，先應該考慮人的舒適感。隨著(zhù)空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車(chē)間，這種車(chē)間不宜過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì )引起各種事故。
 

　　對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則：
 

　　1、潔凈度高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度低的空間的壓力。
 

　　2、相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度高的房間。
 

　　3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
 

　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
 

　　對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對室內氣流速度也有如下要求：
 

　　1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。
 

　　2、吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側送時(shí)回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。