探討無(wú)塵室送風(fēng)風(fēng)速
無(wú)塵室內的氣流是左右無(wú)塵室潔凈度的重要因素,一般無(wú)塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區域,易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無(wú)塵室潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準之時(shí),能以zui適當的風(fēng)速供應,以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。另一方面欲達到無(wú)塵室潔凈度之穩定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無(wú)法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì )延著(zhù)壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現無(wú)塵室高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流也是困難的,必須注重以下幾點(diǎn):
1、吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;
2、地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般無(wú)塵室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無(wú)塵室風(fēng)速的因素:
影響無(wú)塵室的氣流因素很多,如制程設備、人員、無(wú)塵室組裝材料、照明器具等,同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn),亦應列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn),應設于無(wú)塵室空間與無(wú)塵室隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區內部流向作業(yè)區,而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,產(chǎn)品合格率也勢必降低。無(wú)塵室內的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現象減少zui低;組裝材料之選擇是否恰當、無(wú)塵室設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。