FFU的特點(diǎn)及性能參數

FFU（Fan Filter Unit）是風(fēng)機和過(guò)濾器的組合，也可稱(chēng)為“自帶風(fēng)機的過(guò)濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機模塊，下面部分為過(guò)濾器。根據潔凈度的要求，過(guò)濾器可為不同等級的（HEPA）或（PA）過(guò)濾器，為潔凈室潔凈空氣。風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部過(guò)濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風(fēng)速。FFU系統具有設計施工簡(jiǎn)便，風(fēng)速調節靈活，潔凈區易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統形式之一。
FFU的特點(diǎn)：
：靈活性。因為FFU是自帶動(dòng)力的，它不受區域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠(chǎng)房里可根據需要，分區控制。而且，隨著(zhù)半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠(chǎng)房布局必然要作相應的調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會(huì )帶來(lái)二次投資。
第二：可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設備，可以拆下來(lái)，密封好，留待下次使用。
第三：負壓通風(fēng)。這是FFU的*特點(diǎn)。由于它本身能夠靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠(chǎng)房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會(huì )受到壓力的作用泄漏到潔凈區內，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四：縮短建設周期。使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但在它后期運行中，的表現出節能、免維護等特點(diǎn)。用大循環(huán)減少40%的運行成本。
FFU組合的性能參數：
模數尺寸：安裝吊頂龍骨中心線(xiàn)的間距，FFU常用的標準模數尺寸為1200*600（4'*2'）、1200*900（4'*3'）、1200*1200（4'*4'）。
實(shí)際尺寸：FFU過(guò)濾器的實(shí)際尺寸=模塊尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風(fēng)機模塊的實(shí)際尺寸比過(guò)濾器稍大4mm。比如說(shuō)常用的圓頂龍骨端面寬度為55mm，模數尺寸為1200，900，600所對應的FFU過(guò)濾器實(shí)際尺寸1170，870，570，風(fēng)機模塊的實(shí)際尺寸為1174，874，574。
機外余壓：在某一設定風(fēng)速下，風(fēng)機模塊的總靜壓下（TSP）扣除HEPA/PA過(guò)濾器的阻力，即為機外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環(huán)風(fēng)阻力的能力，無(wú)論是標注FFU機外余壓或風(fēng)機模塊的總靜壓TSP，都必須指明送風(fēng)風(fēng)速或風(fēng)量，否則沒(méi)有意義。
輸入能耗：FFU正常運轉時(shí)輸入電壓或輸入電流的乘積，單位是W。顯然，FFU在不同的運行工況點(diǎn)，即在不同的運行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，輸入能耗不同。因此，如果不指名運行工況點(diǎn)，輸入能耗值沒(méi)有意義。
單位噪音：根據標準IES-RP-CC002，FFU正常運轉時(shí)在距離出風(fēng)面中心正下方1.2m處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點(diǎn)，即在不同的運行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，噪音不同。因此，如果不指明運行工況點(diǎn)，噪音值沒(méi)有意義。
微振：根據標準IES-RP-CC002，FFU在大運轉工況點(diǎn)時(shí)的振動(dòng)幅度和振動(dòng)速率，單位分別是mm和mm/s。
送風(fēng)均勻度：根據標準IES-RP-CC002，FFU正常運轉時(shí)，在距離出風(fēng)面下方150mm(6'')的水平面上測量逐點(diǎn)的風(fēng)速，得出平均風(fēng)速值。平均風(fēng)速與大風(fēng)速和小風(fēng)速的偏差比即為送風(fēng)均勻度，單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點(diǎn)的送風(fēng)風(fēng)速與其平均風(fēng)速的偏差均應在+/-20%以?xún)取?/span>
過(guò)濾器效率等級：依據歐洲標準EN1822，過(guò)濾器等級從H10-H14，U15-U17，或依據美準MIL-282(HEPA)對于0.3um的效率值；依據美準IES-RP-CC007.1，對于0.12um的效率值。