防止潔凈室靜電放電的方法         上海   

一種防止潔凈室靜電放電的方法，可于一具有一層流裝置的潔凈室中去除靜電荷，該潔凈室中具有一層流裝置，設置于該潔凈室的天花板上；本發(fā)明先至少一設置于該層流的中具有一*高度的離子產(chǎn)生器，該離子產(chǎn)生器包含有至少一發(fā)射管，且各該發(fā)射管的至少一輸出端正對于該天花板，然后再至少一設置于該層流的中且具有一第二高度的傳輸系統，用以傳送至少一載具，zui后利用至少一電壓源施加于各該發(fā)射管之上，以去除該潔凈室中的靜電荷；本發(fā)明將該離子產(chǎn)生器的發(fā)射管的輸出端正對于該天花板，可避免因電場(chǎng)強度會(huì )過(guò)規格的上限而對自動(dòng)傳輸軌道上的載具所攜的材料造成破壞．